真空阀是在低压或真空状态下正常工作，实现对介质的控制，如开启、关闭或调节流量。真空阀在半导体制造、真空镀膜、空间模拟、科研实验以及工业生产过程中的真空应用中扮演着至关重要的角色。
真空阀的种类繁多，根据其功能和结构特点，可以分为以下几类：
截止阀（Globe Valve）：通过旋转阀瓣来控制流体的流动，适用于需要控制流量的场合。
球阀（Ball Valve）：利用球体内部的孔来控制流体流动，操作简便，密封性能良好。
蝶阀（Butterfly Valve）：通过旋转轴上的蝶板来控制流体流动，结构简单，重量轻，适用于大口径管道。
隔膜阀（Diaphragm Valve）：使用柔性膜片作为密封元件，适用于腐蚀性介质和清洁要求高的场合。
针型阀（Needle Valve）：通过小直径的针状阀芯来控制微小流量，常用于精密控制。
止回阀（Check Valve）：自动防止介质倒流，只允许单向流动。
安全阀（Safety Valve）：当压力超过设定值时自动打开，释放多余压力，保护系统安全。
真空阀的设计要考虑到工作介质的性质（如温度、压力、腐蚀性）、工作环境（如真空度、振动）以及操作要求（如手动、自动控制）。此外，真空阀的密封性能尤为重要，因为在真空状态下，即使是微小的泄漏也可能导致系统性能下降。因此，真空阀通常采用金属波纹管、V型密封圈等高质量密封材料来确保可靠的密封效果。
