真空阀是对构成管路一部分的阀门，其流导大小是一个重要的性能参数。对于主要用来起开关气路作用的阀门，阀板关闭的密封性能也是重要的性能参数之一。真空阀密封性能是用其漏气率来衡量的。对于主要用来调节气流大小的阀门，能够调节气流量的精度及范围，则是一项重要的性能参数。
对真空阀的一般要求如下：
1.阀门的密封性能要好，阀板密封处的漏气率要小;
2.阀板开启后应尽可能有较大的流导;
3.阀门内所用材料应有较低的饱和蒸气压，高性能和高化学稳定性、寿命长，高真空阀门应能耐烘烤(400～450℃);
4.真空阀门的型式、基本参数、连接尺寸和技术条件应按国家专业标准执行。
5.阀门结构要简单，开关轻便省力，有标志，传动机构在高压侧。
对于真空阀全金属高真空阀门，每次关闭是否性能稳定?使用寿命是否长?是其主要的性能指标。
